，分析結(jié)果準(zhǔn)確度提高
，測定元素范圍更廣等
。X射線熒光光譜儀整體性能的提高取決于各部件性能的改進。下面簡要介紹近年來商品儀器中一些主要部件的改進
。
XRF熒光光譜儀器的進展及發(fā)展趨勢
XRF熒光光譜儀器發(fā)展趨勢
1.一機多用
為了提高工作效率，節(jié)省時間，降低分析成本
，新一代XRF
熒光光譜儀器正朝著一機多用方向發(fā)展。如XRF1700，不但可作常規(guī)大面積樣品分析，還可在直徑
1mm或3mm的微區(qū)進行高靈敏度分析。許多大型X熒光光譜儀帶有測定薄膜厚度的軟件
，可以同時測量薄膜厚度及分析薄膜成分。
2.小型化、專用化
由于現(xiàn)場分析和專用分析的需要，許多廠家推出了小型便攜式X
射線熒光光譜儀。
3，多功能樣品室
在刑偵、海關(guān)、商檢
、地質(zhì)和新材料等領(lǐng)域會遇到不同形狀和大小的樣品
，而且在分析檢測時不允許破壞樣品
，這就需要多功能樣品室
。如創(chuàng)想
公司生產(chǎn)的EDX-6000
熒光光譜儀，其樣品室可測不同形狀的樣品，大如礦石，小如頭發(fā)絲等
。
4。高度自動化
新一代的X熒光光譜儀普遍采用大規(guī)模集成電路和計算機，在豐富的應(yīng)用軟件支持下，諧儀操作
、參數(shù)選擇和數(shù)據(jù)處理均通過微機和計算機進行
;在編好程序的基礎(chǔ)上，能在無人操作的情況下自動對試樣進行分析
，因而可以用于在線、現(xiàn)場和流程分析
。
XRF熒光光譜儀器隨著分光 、探測系統(tǒng)及
X光管等的不斷改善和電子計算機的應(yīng)用 ，而得到迅速的推廣和發(fā)展
。可以預(yù)料
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