。
應(yīng)用已知波長的X射線來測量θ角，從而計算出晶面間距d，這是用于X射線結(jié)構(gòu)分析；另一個是應(yīng)用已知d的晶體來測量θ角，從而計算出特征X射線的波長，進(jìn)而可在已有資料查出試樣中所含的元素。
入射X射線與原子的核外電子發(fā)生非彈性碰撞時，一部分能量轉(zhuǎn)移給電子，使它脫離原子成為反沖電子，而散射光子的能量和運動方向則發(fā)生變化。
XRD原理是以X射線的相干散射為基礎(chǔ)，以布拉格公式2d sinθ=nλ、晶體理論 、倒易點陣厄瓦爾德圖解為主要原理的
；
XRF原理
則是以莫斯萊定律(1/
λ)1/2=k(Z-S) ，
k,S是與線性有關(guān)的常數(shù)。因此 ，得出不同元素具有不同的
X射線（即特征線）為基礎(chǔ)對元素定性、定量分析的
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，主要有連續(xù)X射線和特征X射線兩種。晶體可被用作X光的光柵，這些很大數(shù)目的粒子（原子、離子或分子）所產(chǎn)生的相干散射將會發(fā)生光的干涉作用，從而使得散射的X射線的強度增強或減弱。由于大量粒子散射波的疊加，互相干涉而產(chǎn)生最大強度的光束稱為X射線的衍射線。
、倒易點陣厄瓦爾德圖解為主要原理的 ；XRF原理則是以莫斯萊定律(1/λ)1/2=k(Z-S) ，k,S是與線性有關(guān)的常數(shù)。因此 ，得出不同元素具有不同的X射線（即特征線）為基礎(chǔ)對元素定性、定量分析的 。
，XRF熒光發(fā)射光譜和XRD衍射光譜的是兩種不同的分析方式，分析的領(lǐng)域也不同
。
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