，探測(cè)器和多道脈沖幅度分析器等組成。
能量色散X熒光光譜儀
能量色散X熒光光譜儀的機(jī)型小
傳統(tǒng)的管激發(fā)能量色散X射線熒光光譜儀由冷卻水循環(huán)累統(tǒng) 、
x射線管高壓發(fā)生器和測(cè)量系統(tǒng)組成 。去掉了之前的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，變得更加輕便
。
激發(fā)源用于管激發(fā)能量色散X熒光光譜儀的X射線管功率小于或近于100 w，最大x射線管電流小于1mA。
EDX熒光光譜儀激發(fā)方式有高能離子束，質(zhì)子，
X射線管，放射性同位素和同步輻射光源等
。放射性同位素作為激發(fā)源無須外接電源，其產(chǎn)生的射線接近于單色光
，但是其強(qiáng)度低
，能量分布不可調(diào)，可激發(fā)元素受限
，常用于現(xiàn)場和在線分析的光譜儀中。同步輻射光源具有強(qiáng)度高
，譜范圍寬且連續(xù)
，高度偏振，準(zhǔn)直性好等諸多優(yōu)點(diǎn)
，但是其成本高
，且不適合現(xiàn)場分析，我國也已經(jīng)建成了幾座同步輻射裝置
。
X射線管輕巧價(jià)廉，是
EDXRF臺(tái)式和手持式光譜儀中使用最為普遍的激發(fā)源。
隨著能量色散X射線熒光光譜不斷完善
，其分析技術(shù)的應(yīng)用也十分廣泛而普及。應(yīng)用最為密集的是冶金和水泥行業(yè)
，其次是礦山和制造業(yè)
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