，而是采用元素掃描（通常選擇基體元素）來校準(zhǔn)入射狹縫。
入射光路結(jié)構(gòu)
入射光路除入射狹縫（25m寬）之外還有球面反射鏡。它的作用是將兩個(gè)樣品臺(tái)上激發(fā)的光譜亮度全部反射到入
射狹縫。為了提高紫外光200nm
以下元素的反射能力，凹面反射鏡表面需涂氟化鎂
，入射狹縫和球面反射鏡裝在真空室內(nèi)。
光路中具有兩個(gè)反射鏡
，其中之一是在右樣品臺(tái)激發(fā)樣品時(shí)
，使反射鏡進(jìn)入光路，汞燈反射鏡退出光路
，將激發(fā)光亮反射到球面反射鏡上。然后進(jìn)入入射狹縫到達(dá)凹面光柵分光
。
移動(dòng)直讀光譜儀
Hg反射鏡是供狹縫掃描時(shí)用的 ，當(dāng)左樣品架激發(fā)樣品時(shí)，進(jìn)入
曝光階段 ，Hg
反射鏡將退出光路，使左樣品架激發(fā)光引入球面反射鏡
，進(jìn)入入射狹縫到達(dá)凹面光柵進(jìn)行分光
。
光路中兩個(gè)反射鏡區(qū)域處于非真空狀態(tài)。對(duì)于短紫外線的元素（C
、
P、S、
As、B、
Sn等等）這是一個(gè)致命的問題。這個(gè)區(qū)域中存在氧氣
、空氣、水汽將
200nm以下波段的輻射吸收掉。光電直讀光譜儀無法分析這些元素的含量
。氧對(duì)于從
130～195nm的輻射都有吸收，而在
140nm附近吸收最激烈。
創(chuàng)想直讀光譜儀對(duì)此重新研制了新的光路結(jié)構(gòu)，使得氬氣使用的含量變少了
，并且使用真空泵來節(jié)省氬氣的消耗
，一般平均一罐氬氣可以使用5-6天，而創(chuàng)想采用了這種結(jié)構(gòu)后
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