。
(1）激發(fā)光源。激發(fā)光源是為了蒸發(fā)局部樣品而提供電源。光源操作的定時
、光源性能的選擇
、光源操作參數(shù)，均由測量控制單元所給出的信號來控制
。這些信號來自計算機的指令
，并通過光譜儀的測量板，由操作者通過軟件程序來設計和完成這些功能
。
(2）分光系統(tǒng) 。由一個或兩個電極架組成，用于夾持激發(fā)樣品
。電極架裝在分光儀上
。樣品可以是平面的塊樣、棒狀
。激發(fā)光源連接到電極架上
，與電極架裝上電極相連通。當樣品被激發(fā)時
，光能量通過入射狹縫射到凹面光柵上
，光柵將光分解成光譜線
這些光譜線代表樣品中各個元素。各元素光譜線的強度和樣品中元素的含量成正比 ，每一元素至少有一條光譜線通過出射狹縫
，射到光電倍增管的打拿極上。當元素的濃度變化時
，光譜線的強度也變化，光電倍增管的輸出電流也隨之變化
。
除了元素光譜線之外，用一條光譜線作為基體線（也稱內(nèi)標線
)。內(nèi)標線的光強值和元素的光強值相比，稱為光強比值
。這個光強比值是計算元素含量的變數(shù)。通過計算機軟件就可以將這個光強比值計算出對應元素的百分含量
。
分光系統(tǒng)裝配在真空光學室內(nèi)稱真空光電直讀光譜儀。
光電倍增管的高壓供電可由計算機軟件控制，也可用手動控制。
(3）測量控制單元（簡稱MC)。測量控制單元具有智能
，含有單板計算機和上位計算機進行數(shù)據(jù)交換，接受上位機的操作指令等等
。
MC內(nèi)包括多塊印刷電路板和一個低壓電源組件。輸入電壓可選擇
115V和220V交流。
(4)真空系統(tǒng)。光電直讀光諧儀可分為真空型和非真空型兩種結構。真空型光電直讀光譜儀的用途一般而言是為了作鋼鐵爐前快速分析。用這種儀器不僅可以分析鋼鐵中的合金元素，同時可以分析它們中的碳、磷、硫三個元素。由于碳、磷、硫等元素要用200nm以下波段的輻射 ，不用真空型
，則這些元素的光強度將被空氣中的氧氣和水汽吸收。
(5）計算機 。所用計算機型號取決于軟件的需要
。操作者使用軟件程序來命令計算機進行測量控制的操作，也可用程序來建立被分析元素的校正曲線
。
(6）氬氣控制氣氛 。采用真空光電直讀光譜儀，使用低壓火花激發(fā)光源
，它要求電極架燃燒腔內(nèi)充滿氬氣（純度為
99.999%) ，使樣品在控制氣氛下激發(fā)。如果氬氣純度不高
，或壓力不夠
，造成低壓火花非控制氣氛下激發(fā)，獲得的數(shù)據(jù)相差大
，甚至不能激發(fā)樣品
，樣品表面激發(fā)點呈白色狀態(tài)。
(7）狹縫掃描 。光譜儀采用一個復雜而又敏感的光學系統(tǒng)
。光譜儀環(huán)境溫度的變化會使光學系統(tǒng)有微小變化，從而使光譜的中心位置不能完全與出射狹縫的幾何中心位置重合
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