，在定量之前也需要其半定量分析的數(shù)據(jù)，在用
X射線熒光光譜進行復(fù)雜未知物的物相分析時往往希望知道未知物的成分及大致合量等等
，均對X射線熒光光譜的半定量分析提出了強有力的需求
。
元素準確分析
制定定量分析方法基本步驟為：
（1）根據(jù)樣品和標樣的物理形態(tài)和對分析精確與準確度的要求，決定采用何種制樣方法。制樣方法一經(jīng)確認，應(yīng)了解所確認的制樣方法的制樣誤差，制樣誤差應(yīng)小于分析方法對精度的要求；
（2）用標準樣品選擇分析條件，如X射線管管壓、管流
、原級譜濾光片
、晶體
、脈沖高度分析器和測量時間等等；
（3）制定工作曲線；
（4）用標準樣品驗證分析方法可靠性及其分析數(shù)據(jù)的不確定度，以確認所制定分析方法的適用范圍。
定量分析方法從樣品制備角度出發(fā)
，可分為粉末壓片法
、熔融法、固體試樣法和薄試樣法
。若按基體校正方法進行劃分
，則可分為實驗校正法、影響系數(shù)法和基本參數(shù)法
，這些方法又可相互滲透
。
X熒光光譜儀作為元素分析的重要手段，可做樣品的定性及定量分析
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