。
X射線熒光光譜儀早期照射面積需20毫米以上
為了解決這一問(wèn)題，20世紀(jì)70年代出現(xiàn)了針對(duì)痕量貴金屬檢測(cè)的偏振XRF(US3944822)和全反射式XRF (DE2727505 AD)C使用偏振XRF分析樣品可顯著降低康普頓和相干散射信號(hào) 。全反射
XRF可以大大降低本來(lái)對(duì)痕量分析不利的X射線背景。DE2727505 A1中公開的全反射XRF能夠檢測(cè)硅襯底上的超薄金屬鍍層。
20世紀(jì)90年代
，
隨著人們生活水平的不斷提高,
各種貴金屬產(chǎn)品(例如首飾 ，珠寶，
黃金)
的消費(fèi)需求也逐年增長(zhǎng) ，與此同時(shí)
，人們對(duì)貴金屬產(chǎn)品的質(zhì)量也越來(lái)越關(guān)注。此時(shí)
，市面上已經(jīng)出現(xiàn)了一
批X
射線熒光光譜儀，
但是上述市場(chǎng)上出售的X
射線熒光光譜儀要求被分析的樣品應(yīng)具有平坦而均勻的被照射面積，
才能獲得可靠而精確的結(jié)果。這些光譜儀的照射面積比較大(一
般直徑20
毫米以上)，然而，很多貴金屬產(chǎn)品
，
例如金銀項(xiàng)鏈,
鉑金鉆戒等都比較精致，形狀結(jié)構(gòu)復(fù)雜
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